Картридж з пористим титановим фільтром 1 мкм для вологої обробки напівпровідників

Картридж з пористим титановим фільтром 1 мкм для вологої обробки напівпровідників забезпечує абсолютне-номінальне утримання частинок в агресивних хімічних середовищах, де полімерні мембрани набухають або руйнуються. Виготовлений із 99,4% промислового титанового порошку високої чистоти за допомогою холодного ізостатичного пресування та високо{5}}температурного вакуумного спікання, цей спечений металевий порошковий фільтр забезпечує однорідну мікропористу структуру з пористістю 30-40% і вузьким розподілом пор за розміром. У декарбонізаційній фільтрації на фармацевтичному виробництві API стрижневий фільтр зі спеченим титановим шаром розміром 1 мкм уловлює дрібні залишки активованого вугілля та дрібні частинки каталізатора з маточних розчинів із високою{11}}в’язкістю, із можливістю багаторазового зворотного промивання, що подовжує термін служби в кілька разів порівняно з мембранними альтернативами. Виготовлення напівпровідників за мокрим{16}}процесом об’єднує фільтри з спеченого титанового порошку розміром 1 мкм у лінії подачі хімічних речовин для потоків SC-1, SC-2, 49% HF і HNO₃, де титанова підкладка стійка до точкової коррозії в середовищах, багатих хлоридами, які викликають корозію нержавіючої сталі. Точність 1 мкм видаляє субмікронні частинки, що містять кремній, і металеві забруднення без виділення частинок, зберігаючи чистоту фільтрату, необхідну для обробки пластин у нанометровому масштабі.

У системах очищення-водоочищення високої чистоти використовується пористий титановий фільтр-картридж розміром 1 мкм для вологої обробки напівпровідників як остаточна фільтрація безпеки перед системами ультрафільтрації та EDI, де спечений елемент із титанового порошку витримує періодичну стерилізацію озоном і цикли-на-парі-до 280 градусів у вологих умовах. На відміну від поліпропіленових глибинних фільтрів або мембранних картриджів з PTFE, які розм’якшуються або розшаровуються під час термоциклування, вакуумно-спечена титанова матриця зберігає цілісність розмірів у діапазоні pH 1-14 і витримує різницю тиску до 5,0 бар без руйнування структури пор. Петлі полірування суспензії CMP на передових фабриках використовують 1 мкм титанові фільтрувальні картриджі після-етапів адсорбції смоли, щоб уловлювати великі частинки агломерованого абразиву, зберігаючи при цьому структурований розподіл частинок за розміром колоїдного кремнезему або оксиду церію. Характеристика не-видилення частинок і можливість регенерації в режимі онлайн за допомогою зворотного промивання або ультразвукового очищення дозволяють багаторазове повторне використання, зменшуючи частоту заміни фільтрів і експлуатаційні витрати під час безперервних операцій на мокрому стенді напівпровідників.

Рейтинг точності фільтрації – картридж із пористого титанового фільтра розміром 1 мкм забезпечує абсолютне{1}}номінальне утримання частинок на лініях для вологої обробки напівпровідників, видаляючи субмікронні залишки кремнію, металеві забруднення та гелеподібні-частинки з агресивних хімічних речовин, зокрема HF, HNO₃, SC-1 і SC-2, без проникнення в середовище.

Стійкість до корозії в екстремальних діапазонах рН. Виготовлений із титанового порошку високої чистоти 99,4% або дорівнює 99,4% шляхом вакуумного спікання, цей спечений титановий фільтрувальний картридж витримує середовища з рН 1–14, протистоїть точці і хлоридам, які швидко руйнують фільтри з нержавіючої сталі або хастеллою в системах розподілу хімікатів із мокрим столом.

Висока термічна стабільність для гарячих циклів DIW і SIP – спечений титановий порошковий фільтр витримує безперервну роботу при 280 градусах у вологих умовах, підтримуючи стерилізацію парою-in- (SIP) і промивання гарячою деіонізованою водою без пом’якшення, відшарування або вилуговування екстрагованих речовин, звичайних для поліпропіленових або PTFE мембранних картриджів.

No particle shedding – Unlike depth filters or wound cartridges, the rigid sintered metal structure eliminates fiber release or media migration, maintaining ultrapure filtrate essential for nanometer-scale wafer fabrication where any foreign particle >0,5 мкм викликає фатальні дефекти пристрою.

Чудова регенерація зворотного промивання – картридж з пористим титановим фільтром розміром 1 мкм підтримує зворотне промивання в режимі он-лайн, ультразвукове очищення та кислотну регенерацію, видаляючи захоплені тверді речовини та відновлюючи початкову швидкість потоку протягом десятків циклів повторного використання, що значно знижує частоту заміни картриджа та експлуатаційні витрати на-фабриках із великим обсягом.

Стійкість до високого перепаду тиску – вакуумно{0}}спечена титанова матриця зберігає цілісність пористої структури за перепаду тиску до 5,0 бар, перевершуючи мембранні фільтри, які руйнуються або розриваються під час стрибків потоку або засмічення в обладнанні для вологої обробки напівпровідників.

Високо{0}}лінії розподілу хімічних речовин у вафельних фабриках – установлений у --корпусах фільтрів використання (POU) для потоків 49% HF, HNO₃, NH₄OH, H₂SO₄ та HCl, картридж із спеченого титану 1 мкм видаляє субмікронні металеві частинки та кремнієвий пил перед вологими столами і одинарні-процесори пластин.

Контури рециркуляції озонованої деіонізованої води (DIO₃) – застосовуються як захисна фільтрація в інструментах для очищення після-CMP та видалення фоторезисту. Пористий титановий картридж розміром 1 мкм стійкий до концентрації озону до 20 частин на мільйон і постійного ультрафіолетового випромінювання, коли поліпропіленові фільтри стають крихкими, а PTFE мембрани втрачають механічну цілісність.

CMP slurry polishing loops – final polish and bulk removal – Positioned after slurry blending tanks and before dispense arms for colloidal silica, ceria, or alumina slurries. The sintered titanium filter traps over-sized agglomerates (>1 мкм), зберігаючи природний розподіл частинок за розміром і дзета-потенціал, зберігаючи постійну швидкість видалення та нерівномірність-не-пластин (WIWNU).

Фільтрація води після-скруббера щіткової коробки CMP – встановлено в лініях деіонізованої води, що подають щітки з полівінілхлориду для відновлення залишкових абразивних частинок та іонів міді після полірування пластин. Абсолютний рейтинг 1 мкм запобігає мікроподряпинам на мідних і низько{3}}k діелектричних поверхнях під час контакту щітки.

Кінцевий захисний фільтр полірувальної петлі надчистої води (UPW) – Розташований перед--клапанами використання (POU) у станціях вологого травлення та промивання. Картридж з титановим порошком працює в гарячих циклах UPW (80 градусів) і періодичних циклах стерилізації парою без виділення частинок, підтримуючи бактеріальний контроль і кількість частинок нижче вимог класу 1.

Безелектричні ванни для нанесення нікелю та кобальту для бар’єрних/затравкових шарів – інтегровані в ковзани для очищення ванни для нанесення твердих часток стабілізаторів і комплексоутворювачів. Корозійно-{1}}стійка титанова матриця працює при підвищених температурах (70-90 градусів) і лужному pH без водневої крихкості або забруднення ванни.

Тел.: 0917-3873009

Телефон: +86 18992731201

Електронна пошта:zhangjixia@bjygti.com

Факс: 0917-3873009

Адреса: No. 195, Gaoxin Avenue, High-Tech Development Zone, Baoji City, Shaanxi, China

Whatsapp: +86 18992731201

Популярні Мітки: 1um пористий титановий фільтрувальний картридж для вологої обробки напівпровідників, Китай, постачальники, виробники, індивідуальні, використання, прайс-лист, для продажу, в наявності, безкоштовний зразок, пористий матеріал