Титанова розширена сітка з отворами 2*3 мм із покриттям Ir-Ta для покриття напівпровідників

Розширена титанова сітка з отворами 2*3 мм із покриттям Ir-Ta для напівпровідникового покриття виготовляється з листового комерційного чистого титану ASTM B265 класу 1. На відміну від штампованої сітки, розширена конструкція створює суцільний отвір-у формі ромба-, який тут визначено як 2 мм × 3 мм-без втрати матеріалу чи зварних перетинів, зберігаючи вроджену стійкість до корозії та структурну цілісність титанової основи. Крок розширення орієнтує нитки під контрольованим кутом, збільшуючи ефективну площу поверхні, зберігаючи при цьому рівномірний розподіл струму по поверхні анода. Для напівпровідникових покриттів ця геометрія безпосередньо перетворюється на стабільний потік електроліту через електрод, мінімізоване захоплення бульбашок і узгоджені лінії електричного поля, що є критично важливим для досягнення суб{13}}мікронної рівномірності покриття на пластинчастих-підкладках. Після розширення сітка проходить ретельне лужне знежирення та кислотне травлення для видалення природних оксидів, забезпечуючи механічне закріплення для подальшого змішаного-металоксидного покриття.

Покриття з оксиду іридію-танталу (Ir-Ta) наноситься шляхом термічного розкладання солей-попередників, утворюючи розмірно стабільний анод (DSA), спеціально розроблений для виділення кисню в електролітах на основі сірчаної кислоти-, що містять сліди хлоридів-точна хімія, яка зустрічається в передових напівпровідникові ванни для міднення. 2*Титанова розширена сітка з отворами 3 мм із покриттям Ir-Ta для напівпровідникових покриттів забезпечує перенапругу виділення кисню до 1,385 В порівняно з електродом порівняння з сульфату ртуті, безпосередньо знижуючи напругу в комірці та споживання енергії в операціях імпульсно-періодичного зворотного нанесення (PPR). Композиція Ir-Ta демонструє чудову стійкість до анодного розчинення під дією імпульсів-струму-високої щільності, що є звичайним у процесах мідного дамаску, де покриття на основі-рутенію зазнають прискореного руйнування.

Крім того, компонент оксиду танталу стабілізує структуру покриття, подовжуючи термін служби понад 36 місяців за типових циклів напівпровідникового покриття від foup-to-foup. Кожна партія сітки перевіряється за допомогою автоматизованих систем бачення на стадіях вирівнювання та фінішної обробки, підтверджуючи допуск на товщину в межах ±0,05 мм і профілі без задирок-на краях, сумісні з автоматизованим інструментом для нанесення покриттів. Результатом є незабруднений-анод, який зберігає стабільність розмірів, усуває осипання часток і забезпечує повторюваність,-високу чистоту покриття, необхідну для вдосконаленої металізації з’єднань.

Чудова стійкість до корозії в хлорид{0}}сульфатній кислоті

Компонент оксиду танталу стабілізує матрицю покриття проти анодного впливу в електролітах, що містять сліди хлоридів, стандартну добавку в передовій хімії міднення. Титанова підкладка залишається повністю пасивованою, усуваючи ризик забруднення міддю розчиненим основним металом.

Зведено до мінімуму захоплення бульбашок і покращено транспортування маси

Відкрита сітчаста структура дозволяє бульбашкам виділеного кисню швидко від’єднуватися від поверхні електрода, зменшуючи опір прикордонного шару та підтримуючи постійний потік електроліту. Альтернативи з штампованою сіткою або суцільною пластиною демонструють більший рівень утримання газу, що призводить до локалізованої нерівномірності екранування та покриття.

Робота без{0}}забруднення

І титанова підкладка, і покриття Ir-Ta є інертними в умовах покриття. В електроліт не виділяється свинець, сурма чи інші розчинні речовини, що усуває необхідність періодичної заміни анодного мішка та зменшує дефекти частинок у елементах розміром менше 10 мкм.

 

Допуск на товщину та краї без задирок-

 

Вирівнювання та фінішна обробка після розширення- контролюються автоматизованими системами бачення, утримуючи товщину на рівні ±0,05 мм від номінальної та гарантуючи, що з усіх країв пасма видалено задирки. Це виключає механічні пошкодження мембранних сепараторів або інструментів для обробки пластин.

Збільшений термін служби

Прискорене випробування на весь термін служби (ALT) при тиску до 2 А/см² у 1,5 М H₂SO₄ стабільно перевищує 36 місяців безперервної роботи, деградація покриття вказується підвищенням напруги, а не катастрофічним збоєм, що дозволяє передбачити планування технічного обслуговування.

Настроювані геометричні параметри

 

Незважаючи на те, що розширена сітка має розмір отвору 2 мм × 3 мм, процес розширеної сітки дозволяє незалежно контролювати ширину пасма, кут відкриття та відсоток відкритої площі, забезпечуючи оптимізацію для конкретних конструкцій інструментів для нанесення покриттів і вимог до потоку рідини без витрат на переоснащення.

• Мідний дамаск для логічних вузлів – збірка анода в 300-міліметрових інструментах для нанесення покриття для-вільного заповнення знизу-верху траншей товщиною менше 10 нм; розширена сітка забезпечує рівномірний розподіл струму під сигналами PPR.

• Наскрізне-кремнієве заповнення (TSV) – повний{1}}поперечний-анод у вертикальних камерах для отворів із співвідношенням сторін 10:1–20:1; підтримує стабільне виділення кисню під час тривалих циклів високої-струму-щільності.

• Шар перерозподілу (RDL) на панелі-рівня упаковки – горизонтальні пластинчасті системи; Отвори 2 × 3 мм забезпечують постійну рециркуляцію електроліту<3% thickness variation across 600mm substrates.

• Під-металізація (UBM) для фліп-чіпа – сегментований контроль струму в інструментах для селективного покриття; покриття витримує періодичні зворотні цикли очищення без зміни продуктивності.

• З’єднувачі високої-щільності вбудованої підкладки для трасування (ETS) – вертикальні безперервні планшети (VCP); анодна панель охоплює всю ширину підкладки, мінімізуючи-витягування та усуваючи обмеження щодо обслуговування суцільної пластини.

• Золотий/нікелевий удар для автомобільних і силових пристроїв – робота з високою-струмом-(3–8 ASD); низький перенапруження зменшує нагрівання електроліту, зберігаючи стабільність ванни для ударів 20–100 мкм.

• Додаткова електролітична обробка мідною фольгою – безперервні лінії для фольги 6–18 мкм; розширена сітка забезпечує рівномірний струм по ширині полотна 1400 мм на етапах пасивації на основі хрому.

• Модернізація інструментів для нанесення покриттів – пряма заміна систем Lam Research, Applied Materials, NEXX; Покриття Ir-Ta забезпечує подовжені інтервали обслуговування порівняно з оригінальними анодами на основі-рутенію.

Тел.: 0917-3873009

Телефон: +86 18992731201

Електронна пошта:zhangjixia@bjygti.com

Факс: 0917-3873009

Адреса: No. 195, Gaoxin Avenue, High-Tech Development Zone, Baoji City, Shaanxi, China

WhatsApp: +86 18992731201

Популярні Мітки: Титанова розширена сітка з отворами 2*3 мм із покриттям ir-ta для напівпровідникового покриття, Китай, постачальники, виробники, налаштоване, використання, прайс-лист, для продажу, в наявності, безкоштовний зразок, пористий матеріал